Сканирующий электронный микроскоп JSM-6610LV с энергодисперсионным анализатором IncaX-act
Производитель, год выпуска
JEOL, Япония, 2010 г.
Основные технические характеристики
Ускоряющее напряжение от 0.3 кВ до 30 кВ, катоды из W и LaB6. Детектора на обратно рассеянных электронах и на вторичных. Имеет дополнительный низко- вакуумный режим работы. Возможен локальный элементный анализ на ЭМ на приставке энергодисперсионного спектрометра.
Сведения о метрологическом обеспечении средства измерения
Не относится к объектам обязательной сертификации.