Проточная газофазная химическая установка для синтеза массивов углеродных нанотрубок CVD-4И
Производитель, год выпуска
ИНХ СО РАН, Россия, 2011 г.
Основные технические характеристики
Газофазный химический реактор с рабочей зоной 200 мм, включающий: трехканальную электрическую печь с Тмакс.=1050оС и точностью поддержания ± 2,0 оС, блок управления, контроллеры потоков газов, вакуумную систему с рабочим вакуумом менее 10-2
мм рт. ст. Система впрыска жидкого реагента для подачи в реактор с
прецизионной форсункой-испарителем. Точность подачи не хуже 2 мкл.