Атомно-силовой микроскоп ACM MP 3D Stand Alone c принадлежностями
Производитель, год выпуска
“Asylum Research”, США, 2012 г.
Основные технические характеристики
Диапазон сканирования – 90 мкм, величина шума по XY не более 0,6 нм, величина нелинейности по XY не более 0,5 %, величина нелинейности по Z не более 0,2 %.
Оптическая система: суперлюминесцентный диод (SLD), уровень шума: не более 0,03 нм в диапазоне частот 0,1Гц-1кГц (с датчиками обратной связи). Узкополосный лазерный источник для уменьшения интерференции. Широкополосный фотодиод, что реализует увеличенную пропускную способность для детектирования отклонения и латеральных сигналов до МГц. Оптическая система наблюдения за образцом включает двойную1/4" камеру ССD с 720 мкм и 240 мкм полем обозрения. Три вида наблюдения: сверху, снизу и их комбинация.
Сведения о метрологическом обеспечении средства измерения
Не относится к объектам обязательной сертификации